微纳机电系统力学

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前言

第1章 微纳机电系统MEMS/NEMS及其物理力学

1.1 微纳机电系统MEMS/NEMS

1.2 微机电系统的材料和微加工技术

1.3 物质的构成及物理基本力

1.4 微纳机电系统中的物理力学

第2章 电荷及电偶极子的静电力

2.1 库仑定律

2.2 电场、电场强度、电势

2.3 电偶极子

2.4 电多极子与电势的多极展开

第3章 电磁力

3.1 洛伦兹力

3.2 安培力

3.3 电磁感应定律

第4章 范德瓦尔斯力

4.1 偶极子产生的电场

4.2 离子与电场间的相互作用能及作用力

4.3 偶极—偶极相互作用能

4.4 角平均的偶极相互作用

4.5 偶极—诱导偶极相互作用

4.6 London—范德瓦尔斯力（色散力）

4.7 极性分子间总的范德瓦尔斯相互作用

4.8 物体间的范德瓦尔斯力

第5章 卡西米尔力

5.1 卡西米尔力提出的背景

5.2 卡西米尔力

5.3 金属板间的卡西米尔力及做功

5.4 卡西米尔力对微加速度计性能的影响

第6章 毛细力

6.1 毛细现象

6.2 基本概念及毛细原理

6.3 毛细模型

6.4 毛细力在平行板间的作用

第7章 微结构静电场分析

7.1 无限大平板模型

7.2 考虑边缘效应模型

7.3 非平行平板电容器的电容计算

7.4 梳状结构电容的拐角效应

第8章 布朗力与噪声

8.1 随机过程的统计分析

8.2 能量均分原理

8.3 布朗运动现象与噪声（布朗力）

8.4 硅微陀螺机械热噪声

8.5 电容加速度计热噪声

8.6 电子热噪声

8.7 PN结的散粒噪声

第9章 阻尼力

9.1 气体微流动的基本概念及流区分类

9.2 流体动力学基本方程及边界条件

9.3 压膜阻尼

9.4 滑膜阻尼

第10章 微尺度效应

10.1 圆柱颗粒的分析

10.2 微结构力学基本方程

10.3 微梁弯曲

第11章 微机械谐振陀螺的动力学特性

11.1 陀螺哥氏效应

11.2 微机械陀螺的动力学方程

11.3 微机械梳齿式陀螺的静电驱动力

11.4 动力学方程求解及讨论

11.5 多质量块音叉式微陀螺的动力学方程

第12章 微振动俘能器动力学

12.1 压电俘能系统的基本方程

12.2 悬臂梁式压电俘能系统

12.3 电极的布置

12.4 振动梁式静电俘能系统的基本方程

第13章 碳纳米管力学

13.1 碳纳米管结构、性能及应用

13.2 碳纳米管结构力学