更新时间：2021-04-21 16:56:19
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中华人民共和国住房和城乡建设部公告
前言
1 总 则
2 术语和缩略语
2.1 术 语
2.2 缩 略 语
3 基本规定
4 安装工程施工
4.1 安装前设备材料的储存
4.2 施工准备
4.3 设备搬运
4.4 设备开箱
4.5 设备安装
4.6 二次配管配线
5 设备试运行
5.1 设备试运行前的准备
5.2 设备试运行
6 工程验收
6.1 一般规定
6.2 验收内容
6.3 验收程序
6.4 验收不合格的处置
附录A 硅基太阳能电池生产基本工艺流程
附录B 典型太阳能电池生产设备单机试运转及验收要求
B.1 在线式表面制绒机
B.2 槽式扩散前清洗设备
B.3 预 热 炉
B.4 扩散炉设备
B.5 MCP刻边设备
B.6 湿法刻蚀机
B.7 槽式去PSG清洗设备
B.8 平板式PECVD设备
B.9 管式PECVD设备
B.10 进口全自动丝网印刷设备
B.11 快速烧结炉
B.12 CDS供液设备
附录C 太阳能电池生产主要设备的安装和验收要求
附录D 验收表格
本规范用词说明
引用标准名录
条文说明
制订说明
封底
