1.简述超声波位移微传感器的工作原理。
2.什么是黏滞力?它在压阻式微流量传感器中的作用是什么?
3.惯性敏感转换系统的结构灵敏度因子B对压阻式微加速度计的影响是什么?
4.能带结构的变化与压强微传感器中外加压强p的关系是什么?