新型太阳电池:材料·器件·应用
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第5章 硅片加工

硅片是制作晶体硅太阳电池的基础材料,也是晶体硅太阳电池最昂贵的部分,硅片切割是太阳电池制造中的关键工艺。该工艺用于处理单晶硅或者多晶硅的固体硅锭。目前切片用的是线锯,线锯首先把硅棒(锭)切成方块,然后切成很薄的硅片(图5.1),包括硅晶体的滚磨开方、晶体切割、硅片研磨、硅片抛光和清洗五步。

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图5.1 硅片的切料、切方和切片