4.4　设备配置

4.4.1　薄膜太阳能电池生产设备和辅助设备宜选择自动化程度高、耗能低、排放少的设备，洁净区内的生产设备应符合现行国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472的有关规定。

4.4.2　生产线工序之间宜采用自动传输设施。采用人工传输时，应配置搬运车和相应的产品载具。

4.4.3　化学气相沉积及物理气相沉积工艺区域应配置洁净室专用的检修起重设备。