本章采用磁控溅射方法制备了IMO薄膜，并研究了不同的衬底温度（50～250℃）对薄膜性质的影响。随着衬底温度的升高，薄膜的结晶度有所改善。在250℃的衬底温度下薄膜具有的最大迁移率为53.9cm2/（V·s）。在多数IMO薄膜中，主导的载流子散射机制为杂质散射。在500～1000nm波长区间，IMO薄膜的透射率都较高。IMO薄膜的光学带隙在3.5eV以上，适合作为太阳能电池的TCO窗口层。
