2.6.1　石墨烯片上螺旋电感的制备与测试

石墨烯片上螺旋电感的制备流程示意图如图2.42所示［16］。图2.43给出了加工所得的单圈和两圈的石墨烯电感的版图，图2.44给出了两圈和三圈的石墨烯电感扫描电镜图片。

图2.42　石墨烯片上螺旋电感的制备流程示意图

石墨烯片上电感测试结构示意图如图2.45所示。设计的结构为GSG共面波导结构，采用间距为150μm的GSG探针和AgilentN5227A矢量网络分析仪对S参数进行测试。

图2.43　石墨烯电感版图

图2.44　石墨烯电感扫描电镜图片

图2.45　石墨烯片上电感测试结构示意图