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1.2 硅基集成光源
为了将微电子和光通信技术更好地结合,作为硅基光电子芯片的关键,理想的硅基光源需具备以下几大特征[25]:
(1)工作在1310 nm或1550 nm波长,直接与光纤网络连接。
(2)以紧凑的尺寸和高集成密度进行光/电泵浦。
(3)拥有高转换效率,以获得足够的输出功率。
(4)采用与CMOS工艺兼容的技术制备,用于大规模硅基集成。
虽然硅基发光存在基础性困难,研究者们在过去数十年的努力中,仍然取得了重要的进展。考虑到综合性能,目前的研究主要集中于以下三种有前途的硅基光源:
● 硅基Ⅲ-Ⅴ族半导体混合集成光源,利用成熟的直接带隙半导体材料实现高效发光。
● 硅基稀土离子掺杂光源,在硅基材料中植入发光中心,直接利用稀土发光离子作为工作物质。
● 硅基应变锗光源,利用能带工程适当改变锗的能带结构,大大增强带隙发光。