1.2 微机电系统

1.2.1 微机电系统简介

微电子机械系统（Microelectromechanical System，MEMS，简称微机电系统或微系统）是一门新兴的交叉学科，它将微电子、精密机械、生化和信息处理等高技术有机整合，对21世纪的科学技术、人类生产和生活方式将产生革命性影响，并在未来高科技战争中扮演着举足轻重的角色，是关系国民经济发展和国家安全保障的关键技术。MEMS技术在生物医疗、精密仪器、环境保护、航空航天、军事通信等领域都有广泛的应用前景。如利用MEMS技术，可以制成突破通信瓶颈的全光交换机，准确检测病变的基因芯片，比手掌还小的飞行器，重量仅有几十克的微小卫星。在过去的二十几年里，MEMS技术得到了很大的发展，部分产品已成功地商业化，如气体传感器、喷墨打印机头和汽车安全气囊等。

微电子机械系统主要有三种制备工艺，第一种是以日本为代表的微机械加工方法，其核心思想是大机器加工小机器，小机器加工微机器；第二种是以美国为代表的基于硅微电子加工的方法，它可分为体加工工艺和表面牺牲层工艺；第三种是以德国为代表的LIGA（德文Lithographie Galvanoformung Abformung）技术。本书主要介绍与微压印技术相关的LIGA技术。